PS壓力傳感器是一種使用半導(dǎo)體膜片構(gòu)造制成的電子式壓力傳感器，它可將空氣壓力這一物理質(zhì)變換成電信號, 并能夠高精度、線性地檢測出壓力的改動。它是松下電工公司近年推出的新產(chǎn)品。 早在1954年美國C.S.Smith首要確認了半導(dǎo)體壓電電阻效應(yīng)，1955年C.Herring指出：這種壓電電阻效應(yīng)是因為應(yīng)力的作用，導(dǎo)致導(dǎo)體與價電子帶能量狀態(tài)的改動，以及載流子數(shù)量與遷移率改動所發(fā)生的一種表象。日本從1970年開端研討開發(fā)，首要使用在血壓計上，以后在過程操控范疇及汽車發(fā)動機操控有些都取得了廣泛的使用。近來幾年在家用電器、安裝機器人等使用范疇遍及選用電子壓力傳感器作為壓力操控、壓力監(jiān)控和判別真空吸附的作用。 作業(yè)原理 PS壓力傳感器的截面構(gòu)造，其傳感器有些的構(gòu)造。如圖所示，在壓力傳感器半導(dǎo)體硅片上有一層分散電阻體，假如對這一電阻體施加壓力，因為壓電電阻效應(yīng)，其電阻值將發(fā)生改動。遭到應(yīng)變的有些，即膜片因為簡單感壓而變薄，為了減緩來自傳感器底座應(yīng)力的影響，將壓力傳感器片安裝在玻璃基座上。 當(dāng)向空腔有些加上必定的壓力時，膜片遭到必定程度的拉伸或縮短而發(fā)生形變。壓電電阻的擺放辦法，遭到拉伸的電阻R2和R4的阻值增加；遭到緊縮的電阻R1和R3阻值減小。 因為各壓電電阻如圖4那樣構(gòu)成橋路構(gòu)造，假如將它們連接到恒流源上，則因為壓力的增減，將在輸出端取得輸出電壓ΔV，ΔV的巨細由下式?jīng)Q議： 在（1）式中，當(dāng)壓力為零時的ΔV等于偏置電壓Voffset,在抱負狀態(tài)下咱們期望Voffset=0V，實際上在生成分散電阻體時，因為所構(gòu)成的分散電阻體尺度巨細的不一樣和存在雜質(zhì)濃度的細小區(qū)別，因而總是有某個電壓值存在。壓力為零時，R1=R2=R3=R4=R，咱們把加上必定壓力時R1、R2電阻的改動有些記作ΔR；相應(yīng)R3、R4電阻的改動有些記作-ΔR，所以（1）式就簡化為下式： ΔV=ΔRI （2） 這個ΔV相對壓力出現(xiàn)簡直*線性的特性，僅僅跟著溫度的改動而有所改動。 外圍電路的規(guī)劃 PS壓力傳感器的外圍電路規(guī)劃實例，圖中用恒流源來驅(qū)動壓力傳感器。 因為橋路失衡時的輸出電壓比較小，所以有必要用運放IC1b和IC1C來進行放大。圖中VR1為偏置調(diào)整，VR2為壓力靈敏度調(diào)整，VR3為沒有加壓時輸出電壓調(diào)整，C1、C2用于去掉噪聲。別的，假如電源電壓動搖的話，將導(dǎo)致輸出電壓的改動，所以有必要給電路供給一個安穩(wěn)的電源。 使用實例 PS壓力傳感器在全主動洗衣機中的使用實例。如圖所示，使用氣室，將在不一樣水位情況下水壓的改動，作為空氣壓力的改動檢測出來，然后能夠在設(shè)定的水位上主動中止向洗衣機灌水。 | 
